A termikus analízis, amelynek Magyarországon is nagy hagyományai vannak, leggyakrabban porított, ill. aprított formájú analitikai mintákat vizsgál. Azonban a termoanalitikai technikák és mérőberendezések, jelenlegi magas összetettségi szintjüknek köszönhetően már ma is képesek vizsgálni olyan hőmérséklet indukálta változásokat, amelyek vékony fi lmekben jelennek meg, ahol a rendelkezésre álló mintamennyiség csekély, rendszerint 1 mg/cm2 alatt van. Ez kiszélesíti a termikus analízis alkalmazhatósági körét a vékonyfi lm-technológiához, mely kulcsszerepet játszik új anyagok, folyamatok és eszközök kifejlesztésében, különösen a mikroelektronikai és optoelektronikai ipar számára.