Mohai Miklós (MTA-AKI), Bertóti Imre (MTA-AKI), Tóth András (MTA-AKI)

Nanoléptékű felületmódosítás kisnyomású plazmával és plazma-immerziós ionimplantációval: az összetétel és kémiai szerkezet jellemzése XPS módszerrel

Évfolyam
121. évfolyam (2015), 121. évfolyam 2-3. szám
DOI
10.24100/MKF.2015.73
Első szerző
Mohai Miklós (MTA-AKI)
Szerzők
Bertóti Imre (MTA-AKI), Tóth András (MTA-AKI)
Affiliációk
MTA - Anyag és Környezetkémiai Intézet

A cikk a nanoléptékű felületmódosítás két módszerét, a kisnyomású plazmás kezelést és a plazma-immerziós ionimplantációt mutatja be. A szerzők ismertetik ezen eljárások elvét és alkalmazási lehetőségeit különböző anyagok, köztük polimerek felületmódosítására. Bemutatják a röntgen-fotoelektron spektroszkópia (XPS) módszerét, amelyet a módosított felületek kémiai szerkezetének és összetételének jellemzésére használnak. A közlemény kitér a plazmával aktivált kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD) és a plazmás porlasztás kombinációjával előállított gyémántszerű szén rétegek vizsgálatára is.